Plasma清洗工藝研究

    Plasma清洗機構運行時間 , 優化機構參數并調整傳動機構運行方式 , 提升了Plasma機構運行效率 , 降低了清洗成本。
    TFT-LCD模組段的生産過程中 , 壓合區清潔的主要目的是去除玻璃基闆表面殘留的固體微粒及有機物質。固體顆粒可以通過毛刷清潔和無塵布清潔去除 , 但是有機物質需要通過 Plasma進行清潔 。因前端工藝需要 , 生産過程中的有機物較多 , 常見的主要有灌液晶過程中液晶的殘留、UV 膠等。如果不能有效去除這些有機物 , 就會産生壓合異物、 IC 壓合偏移等不良現象 , 從而産生線缺陷和無畫面等問題。
    1、Plasma清洗原理
    Plasma又稱電漿 , 是紫外線發熒光的産物 , 繼固體、液體、氣體之後 , 電漿體是物質的第四态。電漿是一團帶正、負電荷之粒子所形成的氣體 , 還含有中性的氣體原子、分子及自由基。有機物主要是由 C、O 元素構成的化合物 , Plasma采用電極放電清洗有機物 , 主要針對一些活性不強、較惰性的材料 , 此類型材料不容易用酸、堿做活化 , 可以利用電漿内的離子或活性自由基對材料進行活化 , 然後電離後物質蒸發 ; 對于清潔後殘留的較小的雜質 , 則利用中型的氣體分子通過高速撞擊産生的動能達到去除的目的。清潔後 , 利用水滴在表面浸潤形成水滴角 , 是檢測材料表面活性的最好方法。活化材料表面主要是對碳氫化物的清潔 , 因此種化合物屬親油性 , 故水滴角度測試時角度會偏大(70°~ 100 °) ;經電漿處理後 , 電漿中離子或活性自由基與碳氫化物輕易反應生成揮發性碳氫化合 , 如 CO 、 CO 2 、 CH 4 、 CH x O y 等 , 所以電漿後水滴角度會偏小(10°~ 30 °) ,
    2、Plasma清洗工藝研究
    Plasma清洗過程中 , 由于電極在電場下工作 , 電極前端弧根消耗嚴重 , 由于清潔效果直接影響到壓合效果 , 同時電極成本較高 , 因此需要制定電極的更換周期 ; 另外Plasma清洗時間為 12.9s, 相對于前後站為瓶38頸站 , 需要優化機構運行時間 , 提高生産效率。
    3  結  論
    通過測量水滴角大小對 Plasma清洗效果進行檢驗 , 得到了電極的使用壽命為 1440h 。對Plasma清洗過程中的時間進行了優化 , 通過縮小等待時間和修改傳動方式 , 縮短了 Plasma清洗單元的時間 , 從原來的 12.9s 降低為 8.6s 。通過研究 Plasma清洗工藝 , 提供了解決參數設定的方法 , 提高了設備的利用率并節省了運行成本 , 對于生産中關鍵設備降低成本及提高效率具有實際借鑒意義。

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