詳細介紹

>> 産品特點

   立式中型等離子清洗機,觸摸電腦+PLC多步流程全自動控制,全電路檢測,用于BGA、COB、CSP、LED封裝制程清洗有機物及氧化物,中批量生産機型
>> 技術參數
 ◆ 設備外形尺寸(不包括報警燈)
    650(W)×900(D)×1600(H)mm
 ◆ 倉體結構(合金鋁,約100升)
    420(W)×420(D)×570(H)mm

 ◆ 放電電極

    9層鋁合金放電電極,陽極氧化處理

 ◆ 等離子發生器(美國MKS)
    頻率13.56MHZ,功率0-600W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作

 ◆ 控制系統 

    PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,性能穩定可靠,并具有  手動、自動兩種模式

  真空系統
    日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)

    台灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不鏽鋼真空波紋管、德國英福康壓力傳感器

 ◆ 壓力控制

    PID閉環自動穩壓控制

  充氣系統 

   美國AE高精度電子質量流量計(兩路氣體配制)、針閥
   美國世偉洛克氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥
   日本SMC及CKD高真空氣閥組件

>> 相關應用   

  光刻膠清洗 

  表面改性








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